ㆍ극청정 진공(XHV) 챔버제작, 연구개발
ㆍ진공 극자외선 분광기 제작, 연구개발
ㆍ복합 플라즈마 표면처리 장치 및 응용기술
ㆍPLC 및 제어계측 시스템 설계, 응용기술
ㆍ연X-선 광원개발(산자부 중기거점과제)

ㆍ산자부 산업기반개발과제 수행완료(2002.7) -과제명:반도체 장비용 진공게이지 개발
ㆍ과기부 연구성과 지원사업 수행완료(2003.6) -과제명:극청정 진공챔버 제작기술
ㆍ산자부 중기거점기술개발사업 진행중 - 과제명:연X선 광원개발(나노계측 X-선 결상현미경 시스템)
- 기 간 : 2007.8 완료예정
- 공동연구 : 포항공대 물리과, 포항가속기연구소

ㆍ복합 플라즈마 표면처리 공정 및 응용기술개발완료 - 협약기관 : 포항산업과학연구원
- 협약기관 : 한국표준과학연구원 진공기술센타

ㆍ진공극자외선 분광기 기술이전 협약 - 협약기관 : 포항공과대학교
ㆍ극청정 진공챔버제작 기술이전 협약 - 협약기관 : 포항공과대학교
ㆍ포항방사광가속기 연구시설활용 협약체결 - 협약기관 : 포항가속기연구소