¸ðµ¨¸í : MGB ( MGB Chamber )
Á¦ÀÛÀÏ : 2002. 12
Á¦ÀÛ»ç¾ç : ³ôÀÌxÆøx±íÀÌ 570x460x455 mm^3 10E-9 Torr ÀÌÇÏÀÇ UHV Chamber 10-10 mbar*L/s ÀÌÇÏÀÇ ´©Ãâ·ü
³³Ç°Ã³ : LG MGT