챔버
극자외선분광기
입출력유니트
 

모델명 : TDS : Thermal Desorption Spectroscopy

 

제작일 : 2001. 6

 

제작사양 : 진공용 물질의 온도에 따른 기체방출 정도를 측정하기 위한 시스템
10E-12 Torr 의 XHV 챔버
UHV챔버제작 기술과 XHV 챔버 형성 기술 적용

 

납품처 : 한국표준과학연구원

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