¸ðµ¨¸í : PSS ; Pumping Speed Measurement System
Á¦ÀÛÀÏ : 2001. 5.
Á¦ÀÛ»ç¾ç : 1x10E-6 Torr ÀÌÇÏÀÇ °íÁø°ø ½Ã½ºÅÛ Áø°ø¿ë ¹°ÁúÀ» ¼±º°Çϱâ À§ÇÏ¿© ¹°Áú³»¿¡ Æ÷ÇÔµÈ Èֹ߼ººÐÀÇ ÇÔ·®À» ÃøÁ¤ÇÏ´Â ÀåÄ¡ ¹°Áú °¡¿ºÎ, Èֹ߼ººÐ Æ÷ÁýºÎ, ³Ã°¢ÀåÄ¡, ¹è±âÀåÄ¡ ¹× ¿Âµµ¼¾¼·Î ±¸¼º ½Ã½ºÅÛ ³»ºÎÀüü¸¦ º¼ ¼ö ÀÖ´Â Pyrex Dom Àû¿ë
³³Ç°Ã³ : Çѱ¹Ç¥ÁØ°úÇבּ¸¿ø